橡胶密封数字质量流量控制器

MKS GE50A 通用橡胶密封数字质量流量控制器精度为设定值的±1%、相应速度快于 500 毫秒、不同气体及量程间自由切换。

通过一个先进的数字算法，实现了实时流量控制。

与通常基于PID 的数字 MFC 相比， 它由于能实现工艺气体流量的实时控制提高了控制精度， 具有更好的工艺腔室匹配性。

 基于 EtherNet 用户通讯口网络的浏览器界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除， 从而减少了对“无故障”MFC 的替换并且无需中断工艺气体输送。

G 系列 GE50A 数字控制质量流量控制器提供 RS485、Profibus™、EtherCAT、® PROFINET 或 DeviceNet™ I/O 版本。

数字控制电子元件采用的 MKS 控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。

数字校准对校准气体产生 1% 的设定点精度。

流量从 5 到 50,000 sccm

氟橡胶、丁腈橡胶、氯丁橡胶或 Kalrez 的密封和阀塞选项 多种数字

（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟（0-5 VDC 或 4-20 mA）I/O

可供选择 标准闭合流导泄漏率小于满量程的 0.1% 小于 750 毫秒的稳定时间。

选型手册→/uploads/file/202411/20241110151117_24694.pdf