GM50A和GM51A数字控制质量流量控制器可配备模拟或RS485、Profibus™、EtherCAT、® PROFINET或DeviceNet™ I/O。

数字控制电子元件采用的 MKS 控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。

数字校准对校准气体产生 1% 的设定点精度。

流量从 5 到 50,000 sccm

用特氟龙阀塞进行金属密封

多种数字量（EtherCAT、DeviceNet™、Profibus®、PROFINET 和 RS485）或模拟量 I/O 可供选择

标准闭合流导泄漏率小于满量程的 1.0% 小于 750 毫秒的稳定时间 GM50A和GM51A数字控制质量流量控制器可配备模拟或RS485、Profibus™、EtherCAT、® PROFINET或DeviceNet™ I/O。

数字控制电子元件采用的 MKS 控制算法，可在整个设备控制范围内对设定点做出快速且可重复的响应。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准对校准气体产生 1% 的设定点精度。

选型手册→/uploads/file/202411/20241110152858_22164.pdf